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很多方法都可以用來(lái)測(cè)量薄膜的厚度。這些方法中，紫外可見分光光度計(jì)提供了簡(jiǎn)便的、對(duì)薄膜厚度不造成損害的測(cè)量方式。
對(duì)硅片上兩個(gè)不同厚度的光阻層(0.5 μm, 3.0 μm)進(jìn)行測(cè)量。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，薄膜越薄，波的周期越長(zhǎng)，反之亦然。
紫外可見分光光度計(jì)
允許對(duì)所有種類的薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)易的并且不造成薄膜厚度損害的測(cè)量。從薄膜的前后表面反射出的光相互交叉形成一個(gè)干涉圖。在一定波長(zhǎng)范圍內(nèi)，薄膜的厚度可通過光譜上波的數(shù)量計(jì)算得到（在物質(zhì)的折射率已知的情況下）。
我們的 GC 解決方案包括使您能夠成功進(jìn)行氣相色譜分析的氣相色譜分析儀、進(jìn)樣器、檢測(cè)器，色譜柱、自動(dòng)進(jìn)樣器以及軟件。
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